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無(wú)塵室污染源運(yùn)轉(zhuǎn)管理維護(hù)保養(yǎng)
日期:2024-11-08 03:10
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摘要:
無(wú)塵室污染源運(yùn)轉(zhuǎn)管理維護(hù)保養(yǎng)
一、污染源控制
無(wú)塵室潔凈度之維持和控制,除了硬設(shè)備之配合投資外,也需要良好的軟件&mdash&mdash管理制度來(lái)搭配,方能維持良好的潔凈度。無(wú)塵室內(nèi)之微污染來(lái)源,經(jīng)測(cè)試分析結(jié)果,作業(yè)人員占約80%,如圖1所示。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示,作業(yè)人員進(jìn)出無(wú)塵室時(shí)塵埃有顯著增加,有人動(dòng)作時(shí),潔凈度馬上劣化,可見潔凈度劣化之原因人是主要因素。
無(wú)塵室的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源。外污染源主要包括空調(diào)送風(fēng)、間隙滲入、建筑物、工作服、風(fēng)管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等;而內(nèi)污染源則包括制程設(shè)備、工作人員、工具、加工制程、隔間材料、工作桌、包裝材料等,圖2為微塵粒子的傳送路徑。
對(duì)硅芯片而言,微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路,使芯片失去運(yùn)作功能,因此微污染源的控制已成為無(wú)塵室管理的重要環(huán)節(jié)。表一為自然環(huán)境所測(cè)得的塵埃濃度,可為設(shè)計(jì)參考,而在微污染控制,其基本原則有四:
1.外部塵埃侵入之防止:
無(wú)塵室適當(dāng)之正壓保持(>0.5mmAq),做好施工工程之不漏氣,人員設(shè)備、原材料搬入無(wú)塵室前先做好清潔擦拭等防塵動(dòng)作,空氣過(guò)濾器適當(dāng)?shù)墓芾砗驮O(shè)置。
2.室內(nèi)發(fā)塵之防止:
隔間板、地板等無(wú)塵室材料的適當(dāng)選用、制程設(shè)備的發(fā)塵抑制、生產(chǎn)自動(dòng)化及人員不聚集、動(dòng)作放松、潔凈衣的管理、使用無(wú)塵室專用器等。
3.室內(nèi)發(fā)塵之不積留:
墻壁體應(yīng)光滑無(wú)死角、無(wú)塵室需定期保養(yǎng)和清掃、制程設(shè)備四周應(yīng)留有空間。
4.發(fā)生塵埃之排除:
換氣次數(shù)應(yīng)足夠,適當(dāng)?shù)目臻g布置以及污染源接排氣和空調(diào)的氣流速度須適當(dāng)。
人、物入室的管理問(wèn)題、實(shí)際的作業(yè)條件和工程管理關(guān)聯(lián)之問(wèn)題、室內(nèi)之空調(diào)及清掃關(guān)系之問(wèn)題,這些問(wèn)題將于下節(jié)祥述。
無(wú)塵室污染源運(yùn)轉(zhuǎn)管理維護(hù)保養(yǎng)
無(wú)塵室污染源運(yùn)轉(zhuǎn)管理維護(hù)保養(yǎng)
測(cè)量地點(diǎn) | 微塵粒子數(shù)(個(gè)/ft3)&ge0.5μm |
大氣層圈 | ≦100 |
田園地區(qū)(微風(fēng)狀態(tài)) | 100,000~300,000 |
住宅地區(qū) | 100,000~200,000 |
辦公室(工作中) | 200,000~400,000 |
工業(yè)區(qū) | 400,000~1,000,000 |
正在吸煙的會(huì)議室 | 600,000~1,000,000 |
測(cè)量地點(diǎn) | 微塵粒子數(shù)(個(gè)/ft3)&ge0.5μm |
大氣層圈 | ≦100 |
田園地區(qū)(微風(fēng)狀態(tài)) | 100,000~300,000 |
住宅地區(qū) | 100,000~200,000 |
辦公室(工作中) | 200,000~400,000 |
工業(yè)區(qū) | 400,000~1,000,000 |
正在吸煙的會(huì)議室 | 600,000~1,000,000 |
二、無(wú)塵室運(yùn)轉(zhuǎn)管理
無(wú)塵室運(yùn)轉(zhuǎn)管理,可依作業(yè)人員、原物料、設(shè)備及無(wú)塵室內(nèi)所用東西等加以探討,并依計(jì)劃(planning)、實(shí)施(Doing)、追蹤(Checking)、動(dòng)作(Action)之PDCA循環(huán)步驟執(zhí)行。
1.作業(yè)人員之管理
前以提及在無(wú)塵室內(nèi)污染來(lái)源80%來(lái)自作業(yè)人員,因此若能使作業(yè)人員依無(wú)塵室管理,而所有人員也均能配合實(shí)施,則污染源的產(chǎn)生可說(shuō)已減大半?,F(xiàn)就進(jìn)入無(wú)塵室的作業(yè)人員之管理和注意事項(xiàng)說(shuō)明如下:
?。?/span>1)進(jìn)入無(wú)塵室之人員,必須要具備有達(dá)成高潔凈度標(biāo)準(zhǔn),并要維持*好狀態(tài)之觀念。
?。?/span>2)作業(yè)人員進(jìn)入無(wú)塵室數(shù)目以維持*小限度原則(愈少愈好),并須依無(wú)塵室進(jìn)出標(biāo)準(zhǔn)流程進(jìn)出無(wú)塵室,出則相反方向進(jìn)行,唯不須經(jīng)空氣洗塵室之脫塵處理。
?。?/span>3)對(duì)作業(yè)人員必須經(jīng)常講解無(wú)塵室管理之?dāng)?shù)據(jù),并加以教育與訓(xùn)練,內(nèi)容如無(wú)塵室管理之一般常識(shí)、無(wú)塵室之構(gòu)造與功能、維護(hù)和清潔、**對(duì)策、搬運(yùn)器材之潔凈管理與檢查、潔凈衣之穿脫、無(wú)塵室內(nèi)之步行方式等,并經(jīng)考試合格者方能進(jìn)入無(wú)塵室工作。
(4)在無(wú)塵室作業(yè)人員須經(jīng)常保持自己各方面的干凈與清潔。
?。?/span>5)在無(wú)塵室內(nèi)之作業(yè)人員或其它人員之移動(dòng)或動(dòng)作均為發(fā)塵源,其直接影響制程,同時(shí)亦會(huì)影響氣流之?dāng)_動(dòng),為防止與控制上述情形,基本上須注下列事項(xiàng):
a.不可在作業(yè)區(qū)域氣流之上方放置物品或做其它作業(yè)。
b.不必要之動(dòng)作盡量避免以防止亂流發(fā)塵。
c.與作業(yè)無(wú)關(guān)的私心談話盡量避免。
d.為控制發(fā)塵量,人員步行及作業(yè)要靜靜地進(jìn)行。表2所示為人體在不同動(dòng)作時(shí)之發(fā)塵量。
e.作業(yè)要在潔凈之工作柜或工作桌進(jìn)行。
f.工具等器具須收入有蓋子之箱子或柜中,并置放一定的場(chǎng)所。
?。?/span>6)作業(yè)人員須經(jīng)常保持干凈之手,除了常洗手、剪指甲外,手并應(yīng)保養(yǎng),以防皮膚之剝離,男性須每天刮胡子。
?。?/span>7)潔凈衣要經(jīng)常保持著衣之狀態(tài)。
(8)下列所述者不能進(jìn)入無(wú)塵室:
a.非作業(yè)人員或事先未得許可者。
b.未照規(guī)定穿著潔凈衣者。
c.剛做激烈運(yùn)動(dòng)流汗者。
d.吸煙或吃東西后,尚未經(jīng)過(guò)半小時(shí)以上者。很明顯可看出吸煙者所生之微塵在初期約為非吸煙者的90倍,直至30分鐘后才降至15倍,此為為何無(wú)塵室禁止吸煙人員和吸煙未滿30分鐘不準(zhǔn)進(jìn)入的原因所在。故針對(duì)在無(wú)塵室作業(yè)人員之招募,若能選擇不吸煙者為對(duì)象,將可帶來(lái)甚大利益。
&ge0.3μm | &ge0.5μm | |||||
一般工作服 | 無(wú)塵服 | 普通作業(yè)服 | 無(wú)塵服 | |||
白衣形 | 全覆形 | 白衣形 | 全覆形 | |||
站立(靜姿) | 543,000 | 151,000 | 13,800 | 339,000 | 113,000 | 5,580 |
坐下(靜姿) | 44,800 | 142,000 | 14,800 | 302,000 | 112,000 | 7,420 |
腕上下 | 4,450,000 | 463,000 | 49,000 | 2,980,000 | 298,000 | 18,600 |
上身前屈 | 3,920,000 | 770,000 | 39,200 | 2,240,000 | 538,000 | 24,200 |
腕的自由運(yùn)動(dòng) | 3,470,000 | 572,000 | 52,100 | 2,240,000 | 298,000 | 20,600 |
頭的上下運(yùn)動(dòng) | 1,230,000 | 187,000 | 22,100 | 631,000 | 151,000 | 11,000 |
屈身 | 4,160,000 | 1,110,000 | 62,500 | 3,120,000 | 605,000 | 37,400 |
踏步 | 4,240,000 | 1,210,000 | 92,100 | 2,800,000 | 861,000 | 44,600 |
步行 | 5,360,000 | 1,290,000 | 157,000 | 2,920,000 | 1,010,000 | 56,000 |
?。?/span>9)有下列健康狀態(tài)或體質(zhì)者原則上不能進(jìn)入無(wú)塵室:
a.因日曬、濕診而皮膚有問(wèn)題者。
b.化學(xué)纖維或有機(jī)溶劑等化學(xué)藥品有過(guò)敏性體質(zhì)者。
c.容易出受汗者。
d.比一般人皮膚表皮容易剝離、頭皮或體毛容易掉落者。
e.化妝或涂口紅者。
f.有重大精神病、神經(jīng)過(guò)敏或閉瑣恐懼者。
g.因**、咳嗽或噴嚏者及不能安靜工作者。
但對(duì)于有下列性格的人,則*適宜進(jìn)入無(wú)塵室工作:
a.做事細(xì)心有耐性者。
b.勤于整理整頓,經(jīng)常自己注意身邊清潔的人。
c.經(jīng)常留意自己之健康者。
10.以下之物品不能帶進(jìn)無(wú)塵室:
a)沒(méi)有經(jīng)過(guò)清潔過(guò)程之器材、零件物品、測(cè)定器等各種物品。
b)紙箱及未經(jīng)特別處理之記錄或筆記用紙、影印數(shù)據(jù)等。
c)鉛筆、橡皮擦、墨水等。
d)香煙、化妝品、衛(wèi)生紙、飲食品等。
e)作業(yè)員個(gè)人用品如打火機(jī)、寶石、裝飾品、錢包、鑰匙、手帕、小日記手冊(cè)或其它個(gè)人物品等。
無(wú)塵室潔凈度維持之*大控制對(duì)象為作業(yè)人員,因此對(duì)于作業(yè)人員之?dāng)?shù)目、行動(dòng)狀態(tài)、進(jìn)出規(guī)則之制定與執(zhí)行,提高無(wú)塵室內(nèi)作業(yè)人之潔凈度意識(shí)、反復(fù)教育,均為必須,表3所示為因作業(yè)人員之動(dòng)作而產(chǎn)生污染的增加倍率。